久热这里只有精品6,色婷婷色丁香,欧美精品在线观看视频,99精品国产自在现线观看,91久久偷偷做嫩草影院精品,久久精品a毛片看国产成人,国产精品3p视频,狠狠色狠狠综合久久
            阿里店鋪|凱澤店鋪|凱澤順企網|凱澤靶材店鋪   寶雞市凱澤金屬材料有限公司官網!
            全國服務熱線

            0917-337617013759765500

            微信客服 微信客服

            首頁 >> 新聞資訊 >> 技術資料

            影響鈦靶材磁控濺射沉積率的因素有哪些?

            發布時間:2021-10-10 22:26:45 瀏覽次數 :

            靶材磁控濺射的沉積率也就是沉積的速率,是指沉積物對可容空間充填的速度。濺射沉積率不僅是成膜速度的一個重要參數,也是對靶材成膜的特性,如牢固度。薄膜應力、表面光潔度等有很大的影響,關于影響靶材磁控濺射沉積率的因素,凱澤金屬結合相關資料,分享如下:

            1、工作氣壓

            隨著氬氣分壓,也就是工作氣壓的變化,靶電壓、真空度也會隨之變化,相應的就影響到靶材薄膜的沉積速率。有實驗結果表明,沉積速率隨工作氣壓的增大而先增大后減小。當氬氣流量過大時,濺射粒子與氬氣碰撞次數大大增多,粒子能量在碰撞過程中大大損失,致使濺射粒子達不到基片或無力沖破氣體吸附層,于是便不能形成薄膜,或雖然勉強沖破氣體吸附層,但與基片的吸附能卻很小,因此沉積速率降低。

            2、濺射電壓

            在磁控靶前磁場控制區域間的等離子體越強烈和密集,靶材上的原子脫離率就越高。在影響濺射系數的諸因數中,當靶材、濺射氣體等已選定之后,比較起作用的就是磁控靶的放電電壓。一般來說,在磁控濺射正常工藝范圍內,放電電壓越高,磁控靶的濺射系數就越大;也就是說入射離子的能量越大,濺射系數也越大。在濺射沉積所需的能量范圍內,其影響是緩和漸變的。

            3、靶基間距

            靶基間距指的是靶源與基片的間距,當在靶功率恒定的情況下,靶基距小時,沉積速率沿徑向成正態分布,嚴重影響淀積均勻性;當靶基距增大,均勻性增強,但當靶基距繼續增大,雖然均勻性更強,但沉積速率明顯下降。這是因為當靶材和基片距離較近時,鍍膜區等離子密度較高而且氣體散射的作用很小,薄膜沉積速率都很高。而隨著靶基距的增大,被濺射材料射向基片時與氣體分子碰撞的次數增多,同時等離子密度也減弱,動能減少,因此薄膜沉積速率減少。

            4、濺射電流

            磁控靶材的濺射電流與靶面離子流成正比,因此對沉積率的影響比電壓要大得多。增加濺射電流的辦法有兩個:一個是提高工作電壓;另一個是適當提高工作氣體壓力。沉積速率對應有一個氣壓值,在該氣體壓力下,其相對沉積率大,這個現象是磁控濺射的共同規律。在不影響膜層質量或滿足用戶要求的前提下,由濺射產額來考慮氣體壓力的理想值是比較合適的。

            5、濺射功率

            一般來說,磁控靶的濺射功率增高時,薄膜的沉積率速率也會變大。這里有一個先決條件,就是加在磁控靶的濺射電壓足夠高,使工作氣體離子在陰陽極間電場中獲得的能量,足以大過靶材的“濺射能量閥值”。有的時候,磁控靶的濺射電壓很低,濺射電流也比較高,雖然平均濺射功率不低,卻會出現靶材離子濺射出不來,不能發生濺射沉積成膜的情況。

            6d55fa727b02ad5219f7ec11f270f31e.jpg

            以上就是關于影響靶材磁控濺射沉積率的因素,沉積率是靶材的磁控濺射中一個重要參數,記錄靶材磁控濺射沉積率,可以幫助了解轟擊靶面離子的能量的高低和正確估計靶材離子的沉積狀況,也對后面分析真空鍍膜的問題有很好的幫助。寶雞市凱澤金屬材料有限公司是一家研發生產鈦靶、鉻靶、鋯靶、鎳靶、鈦鋁靶、鈦絲、鈦加工件、鈦鍛件等金屬材料為主的高新技術企業,十余年專注于濺射靶材、鍍膜靶材、平面多弧靶材研發、生產,靶材組織結構均勻、濺射成膜性能優異,如果您對靶材有疑問或需要,歡迎聯系凱澤金屬。

            相關鏈接

            Copyright ? 2022 寶雞市凱澤金屬材料有限公司 版權所有    陜ICP備19019567號    在線統計
            ? 2022 寶雞市凱澤金屬材料有限公司 版權所有
            在線客服
            客服電話

            全國免費服務熱線
            0917 - 3376170
            掃一掃

            kzjsbc.com
            凱澤金屬手機網

            返回頂部
            主站蜘蛛池模板: 色爱区综合五月激情| 亚洲欧美中文字幕高清在线| 三年片免费观看大全有| 国产在线拍揄自揄拍免费下载| 久久免费看少妇高潮v片特黄 | 亚洲熟妇无码乱子av电影| 潼关县| 九江县| 看全色黄大色大片免费久久| 天天躁日日躁狠狠躁欧美老妇小说| 欧州办公室内射美女| 丝瓜视频在线观看| 天天爱天天做天天爽夜夜揉| 陈宝莲三级无删减hd| 人善交videos欧美3d| 福海县| 久久高清内射无套| 无套内射蜜桃小视频| 老子影院午夜精品无码| 亚洲综合色自拍一区| 日韩欧美中文字幕公布| japanese日本xxxxhd| 西西444www无码大胆| 国精产品一码二码三m| 浏阳市| 999久久久精品国产消防器材| 香蕉成人伊视频在线观看| ccyycom草草影院| 溧阳市| 国产肉丝袜在线观看| 亚洲人成绝费网站色www吃脚| 免费视频网站在线看视频| 日本一道本| 安福县| 小姑娘免费观看视频完整版| 免费人成视网站在线不卡| 日本妇人成熟免费中文字幕| 久久精品| 日本精品卡二卡三卡四卡2021| 中国老太婆bb无套内射| 国产一区二区不卡老阿姨|