眾所周知，純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)靶材的純度要求也不盡相同。高純鈦靶材的應(yīng)用相比一般的工業(yè)純鈦，高純鈦價(jià)格昂貴，應(yīng)用范圍較窄。主要用來(lái)滿足一些特殊行業(yè)的使用。那么高純鈦靶材的主要應(yīng)該有哪些呢？靶材生產(chǎn)廠家-凱澤金屬，結(jié)合相關(guān)資料，分享如下：
1、生物材料
鈦是無(wú)磁性金屬，在很強(qiáng)的磁場(chǎng)中也不會(huì)被磁化，且與人體有良好的相容性，無(wú)毒副作用，可以用來(lái)制造人體植入器件。一般醫(yī)用鈦材并沒(méi)有達(dá)到高純鈦的級(jí)別，但是考慮到鈦中不純物的溶出問(wèn)題，植入件用鈦的純度應(yīng)盡可能的高。文獻(xiàn)還提到，高純鈦絲可用做生物捆扎材料。此外，內(nèi)埋導(dǎo)管的鈦制注入式針頭也達(dá)到了高純鈦級(jí)別。
2、裝飾材料
高純鈦靶材具有優(yōu)異的耐大氣腐蝕性能，在大氣中長(zhǎng)期使用也不變色，保證鈦原有的本色。因此高純度鈦還可以用做建筑裝飾材料。此外，近年來(lái)部分高檔裝飾品以及部分佩戴物，如手鏈、手表及眼鏡架等用鈦制作利用了鈦耐腐蝕、不變色、能長(zhǎng)久保持良好的光澤以及與人體皮膚接觸不致敏等特性。某些裝飾品用鈦的純度已經(jīng)達(dá)到5N級(jí)別。
3、吸氣材料
鈦?zhàn)鳛橐环N化學(xué)性質(zhì)非常活潑的金屬，在高溫下可與許多元素和化合物發(fā)生反應(yīng)。高純鈦對(duì)活性氣體(如O2，N2，CO，CO2，650℃以上的水蒸氣)的吸附性很強(qiáng)，蒸發(fā)在泵壁上的Ti膜可形成一個(gè)高吸附能力的表面，這一性質(zhì)使得Ti在超高真空抽氣系統(tǒng)中作為吸氣劑而得到廣泛的應(yīng)用。如用在升華泵、濺射離子泵等，可使濺射離子泵的極限工作壓強(qiáng)低至10-9Pa。
4、電子信息材料
近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體技術(shù)、信息技術(shù)等高科技領(lǐng)域的快速發(fā)展，高純鈦在濺射靶材(見(jiàn)圖1)、集成電路、DRAMs和平板顯示器等方面的用量越來(lái)越大，對(duì)鈦材的純度要求越來(lái)越高。在半導(dǎo)體超大規(guī)模集成電路行業(yè)，控制電極采用鈦硅化合物、鈦氮化合物、鎢鈦化合物等作為擴(kuò)散阻擋層和配線材料。制造這些材料采用濺射法，而濺射法用的鈦靶材對(duì)純度要求很高，特別是對(duì)堿金屬元素和放射性元素要求含量極低。
近年來(lái)，其與之相配的濺射設(shè)備也開(kāi)始使用與濺射鈦靶材同等純度的高純鈦。目前，對(duì)于4兆位的超大規(guī)模集成電路，要求鈦的純度達(dá)到4N5(99.995%)～5N(99.999%)級(jí)，而16兆位的第三代超大規(guī)模集成電路則要求鈦的純度達(dá)到6N(99.9999%)級(jí)。
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