光伏與新能源用靶材是在物理氣相沉積(PVD)技術(shù)中,通過(guò)高能離子轟擊,為形成光伏電池片及新能源相關(guān)設(shè)備所需薄膜提供原子或分子來(lái)源的關(guān)鍵材料。從分類來(lái)看,有金屬類如高純度鋁、銅、鉬、鉻等,合金類像鎢 - 鈦合金靶材,以及氧化物類如 ITO(氧化銦錫)靶材等。性能上,靶材需具備高密度、高純度、高均勻性等特點(diǎn),以確保所形成薄膜的質(zhì)量。比如 ITO 靶材,在保證高透光率(可見(jiàn)光波段通常達(dá) 80% 以上)的同時(shí)具有低電阻率,其硬度較高,熱穩(wěn)定性好,能承受高溫且膜層附著力和抗裂性佳。在應(yīng)用方面,以 HJT 電池片為例,其 TCO 薄膜層需借助靶材經(jīng) PVD 技術(shù)來(lái)形成;鈣鈦礦電池的多層薄膜結(jié)構(gòu)中,ITO 薄膜也需光伏靶材制備。靶材用于形成太陽(yáng)能薄膜電池背電極,起到單體電池負(fù)極、電池串聯(lián)導(dǎo)電通道以及增加光反射的作用。在光伏產(chǎn)業(yè)中,ITO 靶材是當(dāng)前太陽(yáng)能電池主要的濺射靶材,其發(fā)展趨勢(shì)為大尺寸化、高密度化以提高利用率,從長(zhǎng)期看無(wú)銦化是方向,AZO 靶材有望替代 ITO 靶材。在新能源領(lǐng)域,如智能建筑與汽車應(yīng)用中的智能窗、加熱膜等系統(tǒng)也會(huì)用到相關(guān)靶材。前景上,隨著鈣鈦礦等新型光伏技術(shù)發(fā)展,靶材作為核心材料,預(yù)計(jì)在行業(yè)規(guī)模達(dá)到 100GW 時(shí),市場(chǎng)需求可能超 150 億元。執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)方面,不同類型靶材有對(duì)應(yīng)純度、密度等要求,如金屬靶材純度常需≥99.995% ,密度≥99.9% td。選購(gòu)技巧上,要關(guān)注靶材與所需薄膜性能的匹配度、純度、尺寸精度等,對(duì)比不同類型靶材,像 ITO 靶材雖性能優(yōu)異但銦資源稀缺價(jià)格高,AZO 靶材成本低但某些性能有待提升,需綜合實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景的成本、性能要求等因素來(lái)選擇合適靶材 。以下是凱澤金屬針對(duì)光伏與新能源用靶材的全維度縱深分析,涵蓋主流靶材類型、關(guān)鍵性能、技術(shù)挑戰(zhàn)及未來(lái)趨勢(shì):
一、定義與核心作用
術(shù)語(yǔ) | 描述 |
光伏與新能源用靶材 | 用于太陽(yáng)能電池、鋰電儲(chǔ)能等新能源領(lǐng)域的濺射或蒸鍍材料,通過(guò)沉積功能薄膜實(shí)現(xiàn)光吸收、電荷傳輸、抗反射等核心功能,是提升能量轉(zhuǎn)換效率的關(guān)鍵材料。 |
二、主流靶材類型與特性對(duì)比
靶材類型 | 核心成分 | 關(guān)鍵特性 | 主要應(yīng)用場(chǎng)景 |
ITO靶(銦錫氧化物) | In?O?:SnO?=90:10 wt% | 高透光率(>90%)、低電阻(~2×10?? Ω·cm) | 晶硅太陽(yáng)能電池透明導(dǎo)電層、OLED電極 |
AZO靶(鋁摻雜氧化鋅) | ZnO:Al?O?=98:2 wt% | 低成本、耐候性強(qiáng),電阻率~5×10?? Ω·cm | 薄膜太陽(yáng)能電池、建筑光伏玻璃 |
CIGS靶(銅銦鎵硒) | Cu(In,Ga)Se? | 高光吸收系數(shù)(>10? cm?1),可調(diào)帶隙(1.0-1.7 eV) | 銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)能電池吸收層 |
CdTe靶(碲化鎘) | CdTe | 直接帶隙(1.45 eV),轉(zhuǎn)換效率>22% | 碲化鎘薄膜太陽(yáng)能電池核心層 |
鋰電正極靶(NCM) | LiNi?????Co?Mn?O? | 高比容量(>200 mAh/g)、循環(huán)穩(wěn)定性 | 鋰離子電池正極薄膜電極 |
鈣鈦礦靶(MAPbI?) | CH?NH?PbI? | 超高光吸收系數(shù)(>10? cm?1),可溶液加工 | 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池光活性層 |

三、關(guān)鍵性能指標(biāo)與新能源需求
性能參數(shù) | 光伏/鋰電行業(yè)要求 | 典型靶材達(dá)標(biāo)示例 |
透光率(可見(jiàn)光) | ≥85%(ITO/AZO) | ITO靶(550nm波長(zhǎng)透光率92%,電阻3×10?? Ω·cm) |
光吸收系數(shù) | >10? cm?1(薄膜電池) | CIGS靶(吸收系數(shù)1.5×10? cm?1,AM1.5效率23.35%) |
電化學(xué)穩(wěn)定性 | 循環(huán)壽命>1,000次(鋰電) | NCM811靶(1C充放電容量保持率80%@1,000次) |
元素利用率 | 濺射效率≥70% | AZO靶(旋轉(zhuǎn)靶設(shè)計(jì),材料利用率提升至85%) |
四、制備工藝與核心技術(shù)
工藝環(huán)節(jié) | 關(guān)鍵技術(shù) | 典型設(shè)備/方法 |
粉末合成 | 噴霧熱解法(CIGS納米粉體)、共沉淀法(NCM前驅(qū)體) | 高溫噴霧干燥塔(粒徑D50≤5μm) |
成型燒結(jié) | 熱壓燒結(jié)(壓力50-100 MPa,溫度1,200-1,400°C)致密化 | 真空熱壓爐(密度≥98%理論值) |
綁定技術(shù) | 金屬-陶瓷共燒(Mo背板綁定CIGS靶)、激光焊接(旋轉(zhuǎn)靶) | 激光焊接機(jī)(焊縫強(qiáng)度≥200 MPa) |
表面處理 | 磁控濺射預(yù)鍍過(guò)渡層(如TiO?),提升薄膜附著力 | 射頻磁控濺射機(jī)(基板溫度≤200°C) |

五、技術(shù)挑戰(zhàn)與前沿攻關(guān)
靶材類型 | 技術(shù)挑戰(zhàn) | 創(chuàng)新解決方案 |
ITO靶 | 銦資源稀缺(全球儲(chǔ)量?jī)H5萬(wàn)噸) | 開(kāi)發(fā)In-Free替代材料(如AZO、石墨烯/銀納米線復(fù)合靶) |
CIGS靶 | 元素比例控制(Cu/(In+Ga)=0.8-0.95) | 等離子體輔助沉積(PAD)實(shí)時(shí)調(diào)控組分,精度±0.5% |
NCM靶 | 高鎳化(Ni≥80%)導(dǎo)致循環(huán)衰減 | 表面包覆Al?O?納米層(ALD技術(shù),厚度2-5nm) |
鈣鈦礦靶 | 鉛毒性及環(huán)境穩(wěn)定性差 | 開(kāi)發(fā)Sn/Ge基無(wú)鉛鈣鈦礦靶(如Cs?AgBiBr?,效率>12%) |
六、成本與市場(chǎng)分析
參數(shù) | ITO靶 | CIGS靶 | NCM靶 | 鈣鈦礦靶 |
原材料成本($/kg) | 600-800(銦占比70%) | 300-400(硒化工藝) | 50-80(鎳鈷錳) | 100-150(鉛替代) |
加工成本占比 | 25%-30% | 40%-45% | 35%-40% | 50%-60% |
市場(chǎng)規(guī)模(2023) | $12億 | $8億 | $6億 | $3億 |
年增長(zhǎng)率(2025E) | 5%-8% | 10%-15% | 20%-25% | 30%-40% |

七、未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)
技術(shù)方向 | 發(fā)展路徑 | 預(yù)期效益 |
低成本替代材料 | 石墨烯/銀納米線復(fù)合靶(透光率90%,電阻<10 Ω/sq) | 成本降低50%,替代ITO在BIPV中的應(yīng)用 |
高效率薄膜技術(shù) | 量子點(diǎn)CIGS靶(帶隙梯度設(shè)計(jì)) | 轉(zhuǎn)換效率突破30%(理論極限33%) |
固態(tài)電池靶材 | 硫化物固態(tài)電解質(zhì)靶(如Li?PS?) | 鋰電能量密度提升至500 Wh/kg |
回收再利用 | 廢靶材中銦回收率提升至95% | 銦資源依賴度降低60% |
八、典型應(yīng)用案例
應(yīng)用場(chǎng)景 | 靶材方案 | 性能提升 |
雙面PERC電池 | AZO旋轉(zhuǎn)靶(雙面鍍膜,厚度80nm) | 電池效率從22.5%提升至24.1% |
柔性CIGS組件 | 不銹鋼基CIGS卷對(duì)卷濺射靶 | 組件重量降低70%,彎曲半徑≤5cm |
高鎳鋰電 | NCM90/5/5靶(表面包覆Al?O?) | 循環(huán)壽命從800次提升至1,500次 |
鈣鈦礦-晶硅疊層 | 寬帶隙鈣鈦礦靶(MAPbI?Br) | 疊層電池效率突破33%(實(shí)驗(yàn)室紀(jì)錄) |

九、結(jié)論
光伏與新能源靶材正向低成本化、高效化及環(huán)境友好化演進(jìn):
材料創(chuàng)新:無(wú)銦、無(wú)鉛靶材突破資源與環(huán)保瓶頸;
工藝升級(jí):卷對(duì)卷濺射、ALD包覆技術(shù)提升量產(chǎn)能力;
集成應(yīng)用:疊層電池與固態(tài)儲(chǔ)能推動(dòng)靶材多功能復(fù)合設(shè)計(jì)。
未來(lái)5年,靶材技術(shù)將主導(dǎo)鈣鈦礦商業(yè)化、鋰電高鎳化及BIPV普及化進(jìn)程,成為新能源革命的核心推手。
本分析覆蓋光伏與新能源靶材的技術(shù)參數(shù)、產(chǎn)業(yè)痛點(diǎn)及前沿方向,為材料選型與工藝研發(fā)提供結(jié)構(gòu)化參考。
無(wú)相關(guān)信息