磁控濺射鈦靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè)，如集成電路、平面顯示屏和家裝汽車(chē)行業(yè)裝飾鍍膜領(lǐng)域，如玻璃裝飾鍍膜和輪轂裝飾鍍膜等。
為了更能接近磁控濺射靶材的使用者，以便提供更完善的售后服務(wù)，全球主要靶材制造商通常會(huì)在客戶所在地設(shè)立分公司。目前，亞洲的一些國(guó)家和地區(qū)，如臺(tái)灣、韓國(guó)和新加坡就建立了越來(lái)越多制造薄膜元件等產(chǎn)品的工廠，如IC、液晶顯示器制造廠，對(duì)靶材廠商而言，這是相當(dāng)重要的新興市場(chǎng)。因此，全球靶材制造基地正在快速向亞洲地區(qū)聚集。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體集成電路、平面顯示及裝飾鍍膜等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，中國(guó)的靶材市場(chǎng)日益擴(kuò)大，已逐漸成為世界薄膜靶材的最大需求地區(qū)之一，這為中國(guó)靶材制造業(yè)的發(fā)展提供了機(jī)遇和挑戰(zhàn)。近幾年，在集成電路產(chǎn)業(yè)基金、國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)（01、02、03）及地方基金等國(guó)家隊(duì)的帶動(dòng)下，集成電路產(chǎn)業(yè)投資可謂大熱，據(jù)統(tǒng)計(jì)，僅2015-2016兩年間，國(guó)內(nèi)已經(jīng)宣布在建或計(jì)劃開(kāi)工的晶圓生產(chǎn)線就多達(dá)44條，其中300mm 18條，200mm 20條，150mm ６條。在此巨大市場(chǎng)需求的拉動(dòng)下，靶材產(chǎn)業(yè)必將引起了我國(guó)有關(guān)科研院所和企業(yè)的重視和關(guān)注，紛紛投入人力、物力、財(cái)力從事磁控濺靶材的研發(fā)和生產(chǎn)。鈦靶材作為靶材領(lǐng)域的獨(dú)特一個(gè)分支無(wú)論在半導(dǎo)體A1工藝或Cu工藝下都有應(yīng)用，同時(shí)在液晶顯示器行業(yè)和裝飾鍍膜行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。目前鈦靶材研發(fā)生產(chǎn)的基地主要集中在北京、廣東地區(qū)、江浙、甘肅等地。由于靶材原料純度、生產(chǎn)裝備和工藝研發(fā)技術(shù)的限制，我國(guó)鈦靶材制造業(yè)還處于初創(chuàng)期，國(guó)內(nèi)鈦靶材生產(chǎn)企業(yè)基本屬于質(zhì)量和技術(shù)門(mén)檻較低、采用傳統(tǒng)加工方法、依靠?jī)r(jià)格取勝的低檔次濺射靶材生產(chǎn)者，或獲利有限的代工型加工廠。生產(chǎn)規(guī)模小，品種單一，技術(shù)還不穩(wěn)定，迄今為止，中國(guó)（包括中國(guó)臺(tái)灣）僅有幾家生產(chǎn)靶材的專(zhuān)業(yè)公司，如有研億金、江峰電子等企業(yè)，生產(chǎn)的鈦靶材遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足市場(chǎng)發(fā)展的需要，大量鈦靶材還需從國(guó)外進(jìn)口，高純度金屬鈦靶材的原材料已經(jīng)獲得突破，但是大部分還不得不依賴進(jìn)口。
鈦靶材作為一種具有特殊用途的材料，具有很強(qiáng)的應(yīng)用目的和明確的應(yīng)用背景。脫離金屬鈦的冶金提純技術(shù)、EB真空熔煉技術(shù)、鈦錠無(wú)損探傷技術(shù)、高純鈦的雜質(zhì)分析技術(shù)、鈦靶材的制備技術(shù)、濺射機(jī)臺(tái)制備技術(shù)、濺射工藝和薄膜性能測(cè)試技術(shù)單純地研究鈦靶材本身沒(méi)有任何意義。鈦靶材的研發(fā)生產(chǎn)及后續(xù)的應(yīng)用改進(jìn)涉及一個(gè)從上游原材料到產(chǎn)業(yè)中游設(shè)備制造商和靶材制造商共同研發(fā)、下游鈦靶材鍍膜芯片應(yīng)用的整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈。鈦靶材性能與濺射薄膜性能之間的關(guān)系，既有利于獲得滿足應(yīng)用需要的薄膜性能，又有利于更好的使用靶材，充分發(fā)揮其作用，促進(jìn)靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展。目前正處在集成電路產(chǎn)業(yè)在中國(guó)大陸蓬勃發(fā)展的階段，機(jī)遇和挑戰(zhàn)并存，如果不能抓住機(jī)遇把靶材制造、薄膜制造和檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，我國(guó)與國(guó)際水平的差距必將越來(lái)越大，不僅不能奪回由外商占領(lǐng)的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，更無(wú)法參與國(guó)際市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)。
相關(guān)鏈接
